国内最大的晶圆代工厂中芯国际18日宣布，公司在2019年3月12日至2020年2月17日的12个月期间就机器及设备向泛林团体发出一系列购买单，花费斥资6.01亿美元(约合42亿元人民币)

泛林Lam Research是一家美国公司，也是全球半导体装备行业的巨头之一，与应用材料、KLA科磊齐名，2019年营收95亿美元，在全球半导体装备行业位列第四，仅次于ASML、TEL日本东京电子及KLA。

泛林生产的设备主要是蚀刻机、CVD(化学气相沉积)、清洗、镀铜等设备，其中来自中国市场的客户是第一大来源。

结合中芯国际最新财报中的说法，过去一年中花费42亿元购买泛林半导体设备(采购自泛林的只是其中一部分)显然是为了扩大14nm工艺生产，在去年底开始量产之后，14nm工艺的产能就是中芯国际的重点。

根据根据中芯国际联席CEO梁孟松的说法，14nm月产能将在今年3月达到4K，7月达到9K，12月达到15K。

中芯国际的14nm产能在15K晶圆/月之后应该不会继续提升了，还有更新的工艺。

除了14nm及改进型的12nm工艺之外，中芯国际的N+1、N+2代工艺也会陆续在今年底开始试产，相当于台积电7nm低功耗、7nm高性能工艺级别，未来一两年也会是产能建设的重点。

在美国封杀华为等中国公司日趋疯狂的背景下，国产14nm工艺加快产能建设将有助于国产芯片发展，避免受制于人。

作者.宪瑞

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